Table 1 FWHM data of different diffraction planes (unit: °).
Diffraction crystal planes | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Wafers | (111) | (220) | (311) | (400) | (331) | (422) | (511) | (440) | (531) |
2-D | 0.142 | 0.126 | 0.142 | 0.168 | 0.138 | 0.163 | 0.172 | 0.157 | 0.204 |
4-D | 0.146 | 0.123 | 0.142 | 0.180 | 0.151 | 0.163 | 0.169 | 0.141 | 0.209 |
5-D | 0.121 | 0.094 | 0.122 | 0.140 | 0.116 | 0.141 | 0.156 | 0.164 | 0.174 |
8-D | 0.146 | 0.132 | 0.143 | 0.137 | 0.125 | 0.138 | 0.139 | 0.142 | 0.167 |