Table 2 Compromised dimensional parameter of the microcantilevered plate resonator
Parameter | Value (μm) | Parameter | Value (μm) |
|---|---|---|---|
L1 | 1050 | b2 | 250 |
b1c | 1750 | L3 | 130 |
b1f | 1350 | b3 | 22 |
L2 | 320 | h | 25 |
Parameter | Value (μm) | Parameter | Value (μm) |
|---|---|---|---|
L1 | 1050 | b2 | 250 |
b1c | 1750 | L3 | 130 |
b1f | 1350 | b3 | 22 |
L2 | 320 | h | 25 |